谷内研究室
研究テーマ
- 高分解能レーザー励起光電子顕微鏡技術(レーザーPEEM)、および関連技術の開発
- Laser-PEEMを使った半導体材料・デバイスの検査・計測
- ソフトマテリアルの高分解能非破壊イメージングの実現
- 低エネルギー励起光電子の物理
当研究室では、次世代の計測技術である「レーザー励起光電子顕微鏡（レーザーPEEM）」および関連する顕微・計測技術を駆使した研究を展開している。レーザーPEEMは、ナノスケールの分解能で物質の多様な物性情報を可視化できる新しい電子顕微鏡であり、非常に高いスループットと比較的大きな検出深さを兼ね備えている。この特性により、従来の電子顕微鏡では困難であった半導体デバイスや多層膜といった複雑な構造内部のナノ物性を、非破壊で詳細に観察することが可能である。当研究室は本技術を基礎科学の探究だけに留めるのではなく、産業界の課題解決に直結させることを重視している。特に応用面では、半導体産業における検査ニーズに応える実装や、ソフトマテリアルの化学状態可視化に注力する。物理学から化学、環境、生物、医療まで、学際的な社会実装を通じて新たな価値創出を目指す。
