微細加工室
担当所員橋坂 昌幸
担当所員井手上 敏也
担当所員島﨑 佑也
担当所員三輪 真嗣
助教遠藤 彰
技術専門職員橋本 義昭
本室では、量子ナノ物性研究センターが保有する微細加工装置の保守・点検を行うとともに、ユーザーへの対応を行っている。ラボスタッフは随時ユーザーからの相談を受け付け、これに対してアドバイスや装置利用に関する講習を行う。ユーザーは所定の装置利用講習を受講することで、各装置を自ら利用できる。
主要設備
電子線描画装置、集束イオンビーム装置、フォトリソグラフィー装置、各種蒸着装置、ほか