東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点の微細加工部門（東京大学武田先端知スーパークリーンルーム）の三田吉郎教授らと、東京大学物性研究所の木村隆志准教授らによる利用成果が、文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ事業（ARIM）の令和7年度「秀でた利用成果」最優秀賞を受賞しました。本成果は、約3,000件のARIM利用報告書の中から2025年10月に「秀でた利用成果」8件の一つに選定され、さらに2026年1月28日に東京ビッグサイトで開催された「第25回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2026）」での成果発表会・審査を経て、最優秀賞2件のうちの1件に選ばれました。

第25回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議（nano tech 2026）での集合写真

受賞した利用成果および、研究開発メンバーは以下です。

「微細加工を活用したX線イメージング技術の高度化/X線光学素子開発のための新たな微細加工プロセスの検討」

三田 吉郎（東京大学 大学院工学系研究科電気系工学専攻　教授）
木村 隆志（東京大学物性研究所附属極限コヒーレント光科学研究センター軌道放射物性研究施設　准教授／データ統合型材料物性研究部門　准教授）
竹尾 陽子（東京大学物性研究所 助教）
島村 勇徳（東京大学物性研究所（研究当時））
櫻井 快　（東京大学物性研究所　博士課程）
吉永 享太 （東京大学物性研究所　博士課程）
中田 勇宇（東京大学物性研究所　博士課程）
永山 裕一 （東京大学物性研究所　博士課程）
幾原 雄一（東京大学大学院工学系研究科総合研究機構　教授）

本研究では、東京大学武田先端知スーパークリーンルームの微細加工装置群と技術スタッフによる支援を活用してX線光学素子の作製プロセスを確立し、SPring-8に構築した軟X線顕微鏡に導入しました。これにより、元素分布や化学状態などを高い空間分解能で可視化するイメージング技術の高度化を実現しています。

関連ページ

• 文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ事業（Advanced Research Infrastructure for Material and Nanotechnology: ARIM）
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• 東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点
• 東京大学物性研究所 木村研究室
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