元所員・中村 典雄
研究テーマ
- 次世代シンクロトン放射光源
- エネルギー回収リニアック
- 半導体リグラフィー用高出力自由電子レーザー
- ビーム物理学
電子加速器をベースとした先端的光源の研究開発と関連するビーム物理の研究が主なテーマである。蓄積リング型光源としては、物性研・軌道放射物性研究施設のSOR-RING、高エネルギー加速機研究機構のPFリングなどの運転に携って関連する研究開発を行い、SOR-RINGの後継機として東京大学高輝度光源（Super-SOR）計画を推進して第３世代高輝度光源リングに関連する研究開発も行った。最近では、さらに格段に高い輝度を持ちながら2種類の異なる特性を持つ放射光ビームを同時に提供できる次世代放射光源の設計や研究開発も行っている。他方、エネルギー回収リニアックを用いた放射光源の研究も進めてきた。最近はSASE（Self-Amplified Spontaneous Emission）型自由電子レーザーをエネルギー回収リニアックで駆動する高出力EUV光源を研究し、消費電力を大幅に削減できる持続可能性の高い先端半導体リソグラフィー用光源として利用することを提案している。KEKのコンパクトERLを用いてその実証実験も行っている。
略歴
- 東京大学理科I類入学
- 東京大学理学部物理学科卒業
- 東京大学大学院理学系研究科物理学専攻修士課程修了
- 東京大学大学院理学系研究科物理学専攻博士課程修了
- 理学博士（東京大学）
- 文部省高エネルギー物理学研究所助手
- 東京大学物性研究所准教授
- 高エネルギー加速器研究機構教授
- 高エネルギー加速器研究機構名誉教授・研究員
研究業績
主要論文
- “High-power EUV free-electron laser for future lithography”, Norio Nakamura, Ryukou Kato, Hiroshi Sakai, Kimichika Tsuchiya, Yasunori Tanimoto, Yosuke Honda, Tsukasa Miyajima, Miho Shimada, Takanori Tanikawa, Olga A. Tanaka, Takashi Obina, and Hiroshi Kawata, Jpn. J. Appl. Phys. 62, SG0809 (2023).
- “High power light source for future extreme ultraviolet lithography based on energy-recovery linac free-electron laser”, Hiroshi Kawata, Norio Nakamura, Hiroshi Sakai, Ryukou Kato, Ryoichi Hajima, J. Micro/Nanopattern Mater. Metrol. 21(2), 021210 (2022).
- “New halo formation mechanism at the KEK compact energy recovery linac”, Olga Tanaka, Norio Nakamura, Miho Shimada, Tsukasa Miyajima, Akira Ueda, Takashi Obina, Ryota Takai, Phys. Rev. Accel. and Beams 21, 024202 (2018).
- “Beam injection with a pulsed sextupole magnet in an electron storage ring”, H. Takaki, N. Nakamura, Y. Kobayashi, K. Harada, T. Miyajima, A. Ueda, S. Nagahashi, M. Shimada, T. Obina, T. Honda, Phys. Rev. ST–AB 13, 020705 (2010).
- “New orbit correction method uniting global and local orbit corrections”, N. Nakamura, H. Takaki, H. Sakai, M. Satoh, K. Harada, Y. Kamiya, Nucl. Instrum. Methods A 556, 421-432 (2006).
- “Measurement of an electron-beam size with a beam profile monitor using Fresnel zone plates”, K. Iida, N. Nakamura, H. Sakai, K. Shinoe, H. Takaki, M. Fujisawa, H. Hayano, M. Nomura, Y. Kamiya, T. Koseki, Y. Amemiya, N. Aoki, K. Nakayama, Nucl. Instrum. Methods A 506, 41-49 (2003).
主な受賞
- 2015年 高エネルギ―加速器科学研究奨励会 諏訪賞：cERLグループとして
主な著書
- 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術（共著、技術情報協会、2023年9月）
- Photon Sources for Lithography and Metrology（共著、SPIE PRESS、2023年9月）
- 加速器ハンドブック（共編、丸善、2018年）
- OHO'15 高エネルギー加速器セミナー「エネルギー回収型リニアックの加速器基盤技術と応用」（共著、高エネルギー加速器科学研究奨励会、2015年）
- シンクロトロン放射光の基礎（共著、丸善、1996年）
- OHO'91 高エネルギー加速器セミナー「低エミッタンスリング」（共著、高エネルギー加速器科学研究奨励会、1991年）
旧メンバー
- 小関 忠（こせき ただし）
- 高木 宏之（たかき ひろゆき）
- 阪井 寛志（さかい ひろし）
- 篠江 憲治（しのえ けんじ）
- 工藤 博文（くどう ひろふみ）
- 伊藤 功（いとう いさお）
- 澁谷 孝（しぶや たかし）
- 瀧山 陽一（たきやま よういち）
- 原田 健太郎（はらだ けんたろう）
- 佐藤 政則（さとう まさのり）
- 飯田 健介（いいだ けんすけ）
- 川﨑 泰介（かわさき たいすけ）
- 白神 剛志（しらが たかし）
- 田中 猛夫（たなか たけお）
- 石井 篤（いしい あつし）
- 尾上 公正（おのうえ こうせい）
- 小林 洋子（こばやし ようこ）
- 原 洋子（はら ようこ）
- 宇野 知佐子（うの ちさこ）
- 相原 裕美子（あいはら ゆみこ）
- 清水 郁（しみず かおる）
- 浜口 徳子（はまぐち のりこ）
- 染谷 亜規子（そめや あきこ）