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量子物質ナノ構造ラボがオープン

量子物質ナノ構造ラボ(量子ナノラボ、Laboratory of Quantum Material Nanostructures, Q-NanoLab) が、2022年3月10日に所内共通施設として物性研究所にオープンしました。研究所内外の研究者が新しく合成した物質,新しい量子構造を、主に物理的な処理を通して様々に加工し、ハイブリッド系、非平衡系、あるいは素子動作などを調べるための共通インフラを提供する施設です。

電子線描画装置、マスクレス露光フォトリソグラフィ装置、集束イオンビーム加工装置、イオンビームスパッタ蒸着装置などをそろえ、様々な微細加工、素子化が可能です。

利用形態は若干異なりますが、所内外を問わず利用できます。詳しくは、量子ナノラボのページをご覧ください。

(公開日: 2022年03月10日)