深紫外光を含む超短パルスレーザー加工プラットフォームを構築
産総研・東大先端オペランド計測技術オープンイノベーションラボラトリ先進コヒーレント光プロセスチームの黒田隆之助 ラボチーム長、田中真人 副ラボチーム長と物性研究所の小林洋平 教授（兼 産総研 客員研究員）、秋山 英文 教授（兼 産総研 客員研究員）らは、深紫外光から、可視光、近赤外光にわたる波長域のフェムト秒レーザーが利用できる超短パルスレーザー加工オープンイノベーションプラットフォーム（Ultra-short pulse Laser Processing Open innovation Platform： ULPOP）を、産総研柏センター東京大学連携研究サイト（東京大学柏キャンパス第2 総合研究棟）に構築しました。
本プラットフォームは、さまざまな材料や加工の種類に対する加工パラメータの探索と最適化を可能にするため、独自に設計した2種類のフェムト秒レーザーと2種類の汎用ナノ秒レーザーによる加工システムを整備しました（図1）。図1 のフェムト秒レーザー①では、基本波である中心波長800 nm に加えて、非線形結晶により発生させた中心波長400 nm、266 nm、200 nm の4つの波長を選択できます。このうち、266 nm と200 nm のフェムト秒レーザーで材料加工用に利用できるプラットフォーム化された高強度のものは世界にも例がありません。パルス幅は50～2000 フェムト秒の範囲で可変（一部を除く）となっています。フェムト秒レーザー②では、波長800 nm の光を光パラメトリック増幅器を用いて、近赤外光（1100～2300 nm）の波長に変換して利用できる。ナノ秒レーザー①、ナノ秒レーザー②は、それぞれ355 nm と266 nm の波長が利用できます。
こうした波長とパルス幅のバリエーションを有することから、生体・医療材料を中心とする多様な材料を対象に、高精細加工を実現するための加工パラメータ（レーザーの波長、パルス幅、スポット径、照射強度、繰り返し周波数など）を探索し、最適化することで、高精細加工を実証することが可能になり、その結果、レーザー加工技術の産業利用のさらなる促進が期待されます。