1. 入射スリット無しで、ハイ・スループットであること |
2. 一枚の回折格子が広いエネルギー範囲をカバーすること。 |
3. エネルギー分解能10000で、光子数1012個/秒を標準とすること。 |
4. サンプル上でのスポットサイズは50![]() |
名称 |
エネルギー領域 |
主な特徴 |
10 m Off-Plane Eagle型分光器 | 10-40eV (分解能 >100000) |
低エネルギー領域では世界最高の10万以上の分解能。 |
不等刻線間隔平面回折格子分光器 I (VLS-PGM) |
(1) 60-2000 eV (2) 30-1000 eV (3) 10-200 eV |
必要な光学素子が少ない。 高い分解能と強度を保ったまま、 偏角を固定して使用しても |