表面や埋もれたナノ構造を非破壊で顕微観察する技術は応用・基礎の双方で重要な技術である。光電子顕微鏡(PEEM)は紫外線を入射光として利用し、放出された光電子の実空間イメージングを行うことで、試料の物性に敏感なイメージングが可能な手法である。本研究では大強度の連続波(CW)深紫外レーザーと収差補正機構を有したPEEMを組み合わせた評価手法を開発することで、これまでPEEMの課題であった高い空間分解能(3nm)を実現した。本セミナーでは表面ナノ物性の実施例としてSrTiO3表面に現れる室温強磁性の直接観察を紹介する。また埋もれた界面ナノ物性の実施例として、キャップ層が堆積された磁性薄膜、酸化物ヘテロ界面で発現する強磁性相、また電子デバイスの非破壊状態観察の結果を紹介する。