走査型電子顕微鏡

 

査型電子顕微鏡Scanning Electron Microscopy)は試料表面に細く絞った電子線を照射・走査して得られた信号をスクリーンに結像することで拡大像を得ます。通常は大きさ1ミクロン以上の粒子の形状,組織,化学組成を調べるのに適していますが,調整によって1ミクロンを下回る粒子の観察も可能です。

物性研究所電子顕微鏡室では2台の走査型電子顕微鏡が稼働しています。
いずれもEDXを装備しており微少領域の定量分析おより元素分布マッピングを行うことができます。
SEM写真館には各装置で撮影したSEM写真をおいているので,性能などの参考にしてください。

JEOL JEM IT-100 JEOL JSM-5600

→ SEM写真館はこちら


走査型電子顕微鏡(JEOL JEM IT-100) with EDX

JEM IT-100
Wフィラメント,加速電圧:0.5-20kV,倍率:~30万倍,分解能:4-15nm(20-1kV),EDX:Be~Uまで検出可能。

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走査型電子顕微鏡(JSM-5600) with EDX

SEM
Wフィラメント,加速電圧:0.5-30kV,倍率:~30万倍,分解能:4-15nm(20-1kV),EDX:C~Uまで検出可能。
*WDXを装備していますが,2015年以降は停止しています。
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 Posted by at 3:24 PM

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