走査型電子顕微鏡

 

走査型電子顕微鏡(JSM-5600) with EDX and WDX

査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscopy)は試料表面に細く絞った電子線を照射/走査して得られた信号をスクリーンに結像することで拡大像を得ます。通常は大きさ1ミクロン以上の粒子の形状,組織,化学組成を調べるのに適しています。

を加速し物質に衝突させると,弾性散乱電子,2次電子,オージェ電子,蛍光,特性X線,連続X線など様々なエネルギーの電磁波が発生するので,それに対応する検出器を用意すれば様々な情報が得られる。 本装置はネルギー散型X線分光装置(EDX)および波長分散型X線分光装置(WDX)*を装備しており,微少領域の定量分析おより元素分布マッピングを行うことができます。

*2015年現在WDXの機能は停止させています。


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