透過型電子顕微鏡

 

電界放出形透過型電子顕微鏡 JEOL JEM-2010F

過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy: TEM)は,試料に電子線を照射し,透過電子の情報から物質の組織や構造を観察するための装置。走査型電子顕微鏡(scanning Electron Microscopy: SEM)が物質表面の情報を得るのに適しているのに対して,TEMは物質内部の情報を得るのに適しています。TEMでは結晶粒子の格子の配列(ナノメートルオーダー)だけでなく,条件次第では原子ひとつひとつの直接観察も可能。また,電子線としての性質も持っているので,回折現象を利用して結晶方位や対称性を得ることができ,転位(dislocation)や積層欠陥(stacking faulf),反位相構造(anti-phase domain structure)などの情報が得られる。本装置は電界放出型の電子銃を装備しており,試料上で電子線を収束させた回折パターンを得ることができる。また,本装置にはEDXSTEM機能が装備されているため,ナノスケールでの化学組成分析やマッピングが可能となっている。
*2015年11月~ 付属のEDXが停止しました。EDX分析は2100電顕で行えます。

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透過型電子顕微鏡 JEOL JEM-2100

装置も透過型電子顕微鏡だが,電子銃がLaB6フィラメントとなっており,電界放出型にくらべて輝度,電子線収束率がやや劣る。一方で,各機能がPCで一元的に管理されている汎用型となっており,操作が比較的簡単という利点がある。分析装置が付属していないが,付属の高感度CCDで微細組織観察が容易に行える。(2014年6月からEDXを導入し,この装置でも元素分析が可能となってます。)

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