TEM利用不可(10/2-)

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10月 022017
 

TEM室のクーラー故障。
クーラー復旧まで各TEMは利用できません。
2100TEMはクーラー復旧からBAKE OUT完了まで利用できません。

現時点で復旧未定。
復旧スケジュールは予約カレンダーおよび装置近況で更新するので,近況はそれらを参考にしてください。

予約カレンダー
装置近況

 Posted by at 2:32 PM