-　RES010　-

BAL-TEC社製ラピッドイオンミリング装置（RES010）、いわゆるイオン研磨装置。物性研電顕室では通常Arをイオン種として用いている。この装置はSEM,TEMの固体試料を高速でミリングでき、特に鉱物、セラミックス、合金、半導体、多層膜構造などのミリングに適している。バイアス法により中性粒子ミリング、イオンビームミリング、混合ミリングが個別に設定でき、1°までの低角度ミリングが可能で、広いミリングエリアが確保できる。また、液体窒素による試料冷却が可能で、熱ダメージを最小に抑えることができる。